1 概述 國內(nèi)多晶硅生產(chǎn)工藝中，冷氫化工段會不可避免的產(chǎn)生氯硅烷渣漿，渣漿成分復(fù)雜，主要是以四氯化硅為主的氯硅烷液相和硅粉為主的固相，并夾雜雙硅至四硅硅油、氯化鋁及氯化鐵等金屬氯化物。 目前國內(nèi)大部分企業(yè)的渣漿處理系統(tǒng)均采用旋轉(zhuǎn)真空干燥對氯硅烷渣漿先進(jìn)行閃蒸，回收部分四氯化硅，然后對剩余殘液水解，得到無害固體，產(chǎn)生的廢水進(jìn)入廢水處理。 但是由于高沸物、硅粉及金屬氯化物的存在，若四氯化硅蒸出過多，殘液粘度會很高，剩余殘液非常容易堵塞設(shè)備及管道，并在容器內(nèi)壁結(jié)垢，降低傳熱，加劇堵塞及結(jié)垢。因此，國內(nèi)傳統(tǒng)的做法是僅對渣漿中的部分四氯化硅回收（回收率一般在60～70%），以保持殘液流動性，這樣會將30～40%四氯化硅扔掉，也會增加水解所需堿液的成本，加劇水解操作風(fēng)險(xiǎn)及惡化操作環(huán)境，渣漿處理已經(jīng)成為制約多晶硅發(fā)展的瓶頸之一。 為了解決上述問題，石家莊科石機(jī)械設(shè)備有限公司利用其技術(shù)優(yōu)勢，與有關(guān)公司合作，研究開發(fā)了采用過濾技術(shù)代替蒸發(fā)的處理工藝，徹底解決了目前困擾多晶硅企業(yè)渣漿處理的技術(shù)難題。其主要優(yōu)勢有以下兩點(diǎn)： 1、四氯化硅回收率大大提高 采用蒸發(fā)工藝，四氯化硅回收率最高能達(dá)75%，（一般在65%左右）再提高，就會造成排渣困難和管道堵塞。而采過濾工藝，回收率可達(dá)95%以上，回收率提高20～30%以上，其經(jīng)濟(jì)效益非�？捎^。 2、大大降低了廢渣處理的風(fēng)險(xiǎn)，降低了處理成本 采用蒸發(fā)工藝，廢渣中液相含量很高，既需要加大中和堿和水的投放量，又增加了水解的風(fēng)險(xiǎn)。而采用過濾工藝，濾渣（過濾出來的硅粉）中的含液量很低(僅2～4%)，既降低了中和堿和水的投放量，又大大降低了水解的風(fēng)險(xiǎn)。并且減少后續(xù)污水的處理量。 隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，多晶硅行業(yè)和其它行業(yè)一樣，競爭將越來越激烈，誰掌握了先進(jìn)技術(shù)和工藝，誰就能贏得先機(jī)，增強(qiáng)市場的競爭力。我公司愿竭盡全力，配合貴公司，使過濾機(jī)在貴公司盡早實(shí)現(xiàn)連續(xù)穩(wěn)定的運(yùn)行，從而為貴公司乃至我國的多晶硅做出更多的貢獻(xiàn).